Halbleiterindustrie

Ein Reinraum ist ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen, Partikel oder Keime sehr gering gehalten wird. Er wird so designt, dass die Anzahl der Teilchen, die in den Raum eingebracht werden bzw. die dort entstehen, so gering wie möglich ist. Der Reinraum sorgt konsequent für stabile, konstante und kontrollierbare Temperatur-, Luftfeuchtigkeit- und Druckbedingungen.

Die Halbleiterindustrie beschäftigt sich mit der Entwicklung und der Herstellung von elektronischen Schaltungen. Diese sind in der Regel klein und werden in andere elektronische Bauelemente integriert. Sie sind sehr empfindlich und müssen darum mit höchster Genauigkeit hergestellt, behandelt, weiterverarbeitet und vor äußeren Einflüssen geschützt werden.

Reinräume in der Halbleiterindustrie haben mehrere hierarchische Bereiche mit jeweils spezifischer Reinraumklasse. Die Einteilungen der Klassen werden in ISO Richtlinien definiert. Der so genannte Reinstraum in der ISO-Klasse 4 oder besser. Es gibt spezielle Reinraumbekleidung, Arbeitsmittel, Werkzeuge und Einrichtungsgegenstände. Da der Mensch in der Regel die größte Quelle für Partikel bzw. andere Verschmutzung ist, erfolgt der Zugang zum Reinraum meist über eine Folge verschiedener Reinraumbereiche mit fallender Reinraumklasse und über Personal- und Materialschleusen. In denen durch starke Luftströmung und Filtersysteme vorhandene Partikel aufgewirbelt und dann abgesaugt werden, damit keine Verunreinigungen von außerhalb eingetragen werden. Alle Materialien und Einrichtungsgegenstände, die in Reinräumen eingesetzt werden, müssen abriebfeste Oberflächen besitzen.

Konzentriert man sich auf die Kontaminationsquelle Mensch – z.B. auf den Handschuh – kann man an diesem Beispiel aufzeigen, welche Anforderungen an die Ausrüstung im Reinraum gestellt werden. Alle verwendeten Materialien müssen reinraumgerecht sein. Zusätzlich sollten die Handschuhe je nach Bedarf frei von Schwermetallen sein. Auch ein Ausgasen der Materialien sollte überprüft werden.